模板包含什么
晶圆厂不是厂房盖完就算完，而是机台验证通过、晶圆能跑起来才算完；这两点之间的一切，都由一套规程管着。模板跟的就是这个过渡：
- 选址、审批与基础建设, 地震与微振测试、环评与危险化学品相关许可、工艺基础设计与机台清单冻结（下游一切尺寸都由它推导）、超长交期动力设备采购，以及桩基与华夫板。里程碑：机台清单冻结、许可获批。
- 主体结构与洁净室围护, 钢结构与围护、次厂房（subfab）与楼板开孔、封顶封闭，然后是洁净室隔墙与吊顶格栅、高架地板与风机过滤单元。里程碑：厂房封闭完成。
- 动力系统与废气处理, 超纯水站安装与管路冲洗、大宗与特种气体站房、气体分配与阀门箱（VMB）及检漏、排气与洗涤塔、变电站送电, , 全部按 hook-up 点交付，而不是按一个笼统的"完工"。里程碑：动力介质在 hook-up 点可用。
- 洁净室认证与规程切换, 施工规程切换、更衣与气闸、物料进入程序、风量平衡与层流验证、尘埃粒子计数与洁净室等级认证，以及微振与电磁干扰测试。里程碑：洁净室等级认证通过。
- 机台搬入、hook-up 与验证, 吊装方案与到货排序，光刻、刻蚀、薄膜、量测各批次搬入就位，二次配管配线接特气、排气与超纯水，厂商安装验证（IQ）与运行验证（OQ）。里程碑：机台验证完成。
- 工艺验证与首片流片, MES 与自动化物料搬运集成、配方载入、单模块首片、全流程试跑批，然后是良率爬坡与客户认证。里程碑：首片流片、量产放行。
谁会用这个模板
晶圆厂施工经理、设施工程师和半导体运营团队用它来完成从厂房外壳到首颗芯片的漫长建设。它把洁净室规程切换、超纯水和气体就绪、设备接驳和验证依次编排，让这项巨额资本投资顺利达产，不会因某个设施系统拖住晶圆投产。
晶圆厂的日历上有一个日期会改写所有人的规则：洁净室规程切换。在它之前，这里是戴安全帽、能动火的工地；在它之后，每个人要穿无尘服，每样物料要擦拭后过气闸进，各工种的人均产出会明显下掉。所以这条线两侧的工作要有意识地分开排, , 凡是能在"脏"的状态下干完的，都必须在切换之前干完；凡是跨过这条线的条，工期必须比同样的活在线外长。把它当成一次普通移交的项目，会在现场用几个月重新学一遍。
如何调整
- 尽早冻结机台清单，并把它设为里程碑。所有动力介质容量、所有楼板开孔、所有 hook-up 图纸都由它推导，机台晚换一次，整个厂务设计都要跟着抖一遍。
- 机台批次按你自己的动力就位时间重排，不要按厂商发货日期排。一台在特气和排气通电之前就落地的机器，只是占着地面，验证不了任何东西。
- 超纯水在安装之后要单列一根冲洗与电阻率验证的条。水站建成，和回路干净到能接机台，是两回事。
- 把 IQ 和 OQ 分开。厂商证明机台能上电是一件事，你的工艺团队证明它能守住 SPC 基线是另一件事，人不同、时间也不同。
- 给规程切换、更衣程序、物料进入程序分别加条。它们是有工期的作业，不是一封通知邮件。
- 微振、电磁与噪声测试要排在光刻机搬入之前。在一台步进机就位之后才发现微振问题，是这份计划里最贵的一次发现。
排期建议
- 真正的里程碑是 hook-up，不是到货。机台要按"接上动力介质并上电"的日期跟踪，因为一仓库已到货的机台，对验证进度一分钱价值都没有。
- 动力系统要按 hook-up 点的日期建。"超纯水站完工"和"光刻区 hook-up 点可取到达标电阻率的超纯水"之间隔着好几个月，只有后者能解锁一台机器。
- 保住废气处理的进度。排气与洗涤塔不好看，又常被往后排，可是任何用气体的机台都不可能在它们缺位时通过验证, , 它们悄悄躺在通往首片流片的关键路径上。
- 微振测试要在真实工况下做。风机和泵都没开的时候测出来的数据，代表不了光刻机将来要生活的那个环境。
- 良率爬坡不要排成一根固定长度的条。缺陷密度的下降曲线里有实验成分；给它一个现实的窗口加一段余量，好过给它一个商业计划希望看到的日期。
- MES 与自动化集成要在装机期间就开始，不是装完再说。配方与物料搬运集成是带自己缺陷周期的软件工作，也是全流程首批最常见的意外拦路虎。
相关模板
本模板为中文。尚未翻译的相关页面会以英文打开。
常见问题
建一座晶圆厂要多久？
新建厂从取得许可到量产常见二十八到三十六个月，模板大致就是这个跨度。厂房和动力是可预测的，变数集中在机台验证与良率爬坡。
什么是洁净室规程切换？
就是这栋建筑从工地变成受控环境的那一刻。更衣、气闸、擦拭进料和受限工具从此启用，剩余工作的各工种人均产出会明显下降。
为什么关键路径上的是 hook-up 而不是机台到货？
因为机台必须接上达标的超纯水、工艺气体、排气和电力之后才能验证。到货是一个物流事件，hook-up 取决于厂务介质在厂内那个具体点位上是否已经完工。
晶圆厂到底什么时候算"开厂"？
在机台验证与首片流片，不在厂房竣工。模板把厂房封闭和洁净室等级认证当作中间关口，把头条里程碑留给验证和第一个全流程试跑批。
良率爬坡该留多少余量？
要留到足以让缺陷密度曲线是实验出来的，而不是排出来的。多数项目低估这一段，因为它是唯一答案事先不知道的阶段；单独画一根看得见的条，好过把余量摊进前面几根里。
这份晶圆厂建设模板免费吗？
免费。可免费下载 Excel、PowerPoint 和 CSV，也可免费在线编辑，无需注册。